입력 : 2022-02-28 20:39:20
- TEMC, 포스코와 반도체용 희귀가스 국산화 성공
올 하반기부터는 국산 네오(Ne)가스를 생산, 반도체 소자업체에 본격 공급할 수 있을 것으로 보인다. 반도체 공정에 활용되는 네온 가스는 러시아-우크라에서의 수입의존도가 높은데 이번 전생 사태로 수급에 차질이 예상되고 있다.
네온은 반도체 노광공정에서 사용되는 엑시머 레이저 가스의 원재료 중 하나로 공기 중에 0.00182% 밖에 포함돼 있지 않은 희귀 가스다.
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문승욱 산업통상자원부 장관은 28일 충북 보은에 위치한 특수가스 전문 소재기업인 TEMC사를 찾아 러시아-우크라이나 사태에 따른 원자재 수급 동향 등을 점검했다.
지난해 말 기준 가스별 수입액 중 우크라이나·러시아산 비중은 적지 않다. 우리나라 가스별 수입액 중 우크라이나 및 러시아산 비중은 네온 28%(우크라이나 23%·러시아 5%), 크립톤 48%(우크라이나 31%·러시아 17%), 제논 49%(우크라이나 18%·러시아 31%)다.
과거 무역 분쟁 등에 따른 가격 폭등과 공급 부족을 겪으면서 국산화 시도가 이뤄졌으나 외국 기술에 의존한 개발에 그쳤고, 이 역시도 생산이 중단돼 현재 수요의 전량을 수입하고 있다.
TEMC와 포스코가 최근 준공한 설비는 고순도 네온 기준으로 연간 약 2만2천Nm3(노멀 입방미터)를 생산할 수 있다. 이는 국내 수요의 16%가량을 충당할 수 있는 양이다.
TEMC는 포스코와 함께 정부 연구개발(R&D) 사업을 토대로 크립톤, 제논(크세논) 등 다른 반도체용 희귀가스의 국산화 기술 개발도 진행 중이다.
이번 현장방문에서 문 장관은 러-우크라이나 사태가 네온 등 희귀가스 수급에 미치는 영향은 아직까지 제한적인 상황이라고 진단했다. 그러면서 기업들이 해당 가스의 재고 비축량을 확대(평소의 약 3∼4배)하고, 대체 공급선 활용 등 기민하게 대응하고 있다고도 전했다.
산업부는 소재·부품의 해외의존도 완화와 공급망의 안정성 확보를 위해 올해 소재부품기술개발 사업에 8410억원, 전략핵심소재자립화 사업에 1842억원을 각각 투입할 계획이다.
TEMC는 반도체 제조용 특수가스 전문 소재기업으로, 포스코와 협력해 올해 초 네온 가스의 국산화 설비·기술 개발에 성공한 바 있다.
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