ÀÔ·Â : 2018-02-23 14:24:54
- EUV »ý»ê ¶óÀÎ º»°Ý Âø°ø
- '19³â ÇϹݱ⠿ϰø ¿¹Á¤, '20³âºÎÅÍ º»°Ý °¡µ¿ Àü¸Á
»ï¼ºÀüÀÚ°¡ °æ±âµµ ȼºÄ·ÆÛ½º¿¡¼ '»ï¼ºÀüÀÚ È¼º EUV ¶óÀÎ ±â°ø½Ä'À» ¿°í º»°ÝÀûÀ¸·Î ¶óÀÎ °Ç¼³¿¡ Âø¼öÇß´Ù. À̹ø¿¡ Âø°øÇϴ ȼº EUV¶óÀÎÀº '19³â ÇϹݱ⿡ ¿Ï°ø, ½ÃÇè»ý»êÀ» °ÅÃÄ 2020³âºÎÅÍ º»°Ý °¡µ¿À» ½ÃÀÛÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
À̹ø ½Å±Ô¶óÀο¡´Â ¹Ì¼¼°øÁ¤ ÇÑ°è ±Øº¹¿¡ ÇʼöÀûÀÎ EUV(Extreme Ultra Violet, ±ØÀڿܼ±)Àåºñ°¡ º»°Ý µµÀ﵃ ¿¹Á¤À¸·Î »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÇâÈÄ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤ ±â¼ú ¸®´õ½ÊÀ» À¯ÁöÇÏ´Â µ¥ ÇÙ½É ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àº °øÁ¤ ¹Ì¼¼È¸¦ ÅëÇØ ÁýÀûµµ¸¦ ³ôÀÌ°í ¼¼¹ÐÇÑ È¸·Î¸¦ ±¸ÇöÇÏ¸ç ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¼º´É°ú Àü·ÂÈ¿À²À» Çâ»ó½ÃÄÑ¿Ô´Ù. ±×·¯³ª ÃÖ±Ù ÇÑ ÀÚ¸® ¼ö ³ª³ë ´ÜÀ§±îÁö ¹Ì¼¼È°¡ ÁøÇàµÊ¿¡ µû¶ó º¸´Ù ¼¼¹ÐÇÑ È¸·Î¸¦ ±¸ÇöÇϱâ À§Çؼ´Â ±âÁ¸ ArF(ºÒȾƸ£°ï) ±¤¿øº¸´Ù ÆÄÀåÀÌ ÂªÀº EUV ÀåºñÀÇ µµÀÔÀÌ ºÒ°¡ÇÇÇÏ°Ô µÆ´Ù.
EUV ±â¼úÀÌ º»°Ý »ó¿ëÈµÇ¸é ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¼º´É°ú Àü·ÂÈ¿À²À» Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖÀ½Àº ¹°·Ð ȸ·Î Çü¼ºÀ» À§ÇÑ °øÁ¤¼ö°¡ ÁÙ¾îµé¾î, »ý»ê¼ºµµ ȹ±âÀûÀ¸·Î ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.
»ï¼ºÀüÀڴ ȼº EUV¶óÀÎÀ» ÅëÇØ ÇâÈÄ ¸ð¹ÙÀÏ/¼¹ö/³×Æ®¿öÅ©/HPC µî °í¼º´É°ú ÀúÀü·ÂÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ¼ö¿ä¿¡ Àû±â ´ëÀÀÇÏ°í, 7³ª³ë ÀÌÇÏ ÆÄ¿îµå¸® ¹Ì¼¼°øÁ¤ Á¦Ç°À» »ý»êÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
ȼº EUV¶óÀÎÀÇ Ãʱâ ÅõÀÚ±Ô¸ð´Â °Ç¼³ºñ¿ë Æ÷ÇÔ 2020³â±îÁö 60¾ïºÒ ¼öÁØÀ¸·Î, »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¶óÀÎ °¡µ¿ ÀÌÈÄ ½ÃȲ¿¡ µû¶ó Ãß°¡ ÅõÀÚ¸¦ ÃßÁøÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
À̳¯ ±â°ø½Ä¿¡´Â ±ÇÄ¥½Â ±¹È¸ÀÇ¿ø(ȼº½Ãº´), Ȳ¼ºÅ ȼº½Ã ºÎ½ÃÀå, »ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹®Àå ±è±â³² »çÀå, ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ºÎÀå Á¤Àº½Â »çÀå, Áö¿ªÁֹΠµî ¾à 300¸íÀÌ Âü¼®Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹®Àå ±è±â³² »çÀåÀº ±â³ä»ç¸¦ ÅëÇØ "À̹ø ȼº EUV ½Å±Ô¶óÀÎ ±¸ÃàÀ» ÅëÇØ È¼ºÄ·ÆÛ½º´Â ±âÈï¤ýȼº¤ýÆòÅÃÀ¸·Î À̾îÁö´Â ¹ÝµµÃ¼ Ŭ·¯½ºÅÍÀÇ Áß½ÉÀÌ µÉ °Í"À̸ç, "»ï¼ºÀüÀÚ´Â »êÇп¬ ¹× °ü·Ã ¾÷°è¿ÍÀÇ ´Ù¾çÇÑ »ó»ýÇù·ÂÀ» ÅëÇØ ±¹°¡°æÁ¦¿¡ ±â¿©ÇÒ °Í"À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÆÄ¿îµå¸® 7³ª³ë °øÁ¤ºÎÅÍ EUV ±â¼úÀ» Àû¿ëÇϱâ À§ÇÑ ¿¬±¸°³¹ßÀ» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¼öÇàÇØ ¿ÔÀ¸¸ç, ±Û·Î¹ú °í°´°úµµ 7³ª³ë EUV °øÁ¤À» È°¿ëÇÑ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ Ĩ °³¹ß¿¡ Çù·ÂÇÏ°í ÀÖ´Ù.